沈阳某光电器件电子器件打造厂，晶圆制造的过程 中生产含硅、氟的比较特殊污水，制定加工大小1200吨/日。污水基本成分非常复杂，包含的微米级硅小粒及氢氧化钠，一般加工形式无从达到标准。 废液的成分及源头 主耍污染源物 ：电解质溶液硅（100-500nm比表面积）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类制作工艺 ：晶圆刻蚀工业污水（45%）、CMP电学厂家磨光工业污水（40%）、产品冲刷水（15%） 正确处理艺流程步骤 研发利用"生物沉定+珍禽膜分割"技巧规划： 钙盐放置 ：污泥脱水氯化钙祛除氟阴阳离子（转化CaF2沉淀物） 斜管沉淀池影响 ：和好斜板沉淀池剂体现胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜挪用微细粒子 反渗透设备法软件系统 ：脱盐率>98%，环保再生资源回回收利用率75% 蒸发器凝结 ：浓水段保证氟化物无废气排放量 最终能够使用效果 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（降到发达国家1阶段规范10mg/L） 硅分量：<5mg/L 污水从而的造纸废水处理率：70%用来水冷却水塔补水保湿 垃圾回收利用：化掉沉渣量较中国传统方法减掉60%