该厂为8英尺晶圆工作线生活设施的超纯净水系统化，一整天产生含硅废水外理方法150吨。废水外理方法中虽无高价属，但硅量高易水垢，且内阻率需完成18MΩ·cm方能循环。增加了外理工学艺时未实现新颁行的《电子技术企业水污染问题物释放规格》（GB39731-2020）特备释放最大限度。 废气组成共同点 重点的排放物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度0.1-1μm） 特殊性规范要求 ：TOC<10μg/L，硼分子量<5μg/L 水体优点 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物型态麻烦 加工的工艺步骤 改革创新主要包括"梯级膜隔离+电去阳离子"乐队组合生产工艺： 微滤预处置 ：1μm瓷质膜电话拦截大粒子硅，通量稳定80LMH 阳离子更换环氧树脂 ：D201大孔树酯挑选性活性炭吸附硅酸氧分子 一级RO操作系统 ：独一段收购率60%，第五段主要采用高脱硼膜元器件封装 EDI电去阴离子 ：电流大小比热容2A/m²，持续时间去掉残存铁离子 分光光度计消毒 ：254nm太阳光的红外光线线用量40mJ/cm² 科技工作亮点 开拓多功能阻硅剂（生产胺类包覆物），推迟膜污染问题周期公式3倍 EDI版块的创新流道制作，硅的还原率完善至99.8% 网络硅深入测试仪（自动测量位置0.1-500μg/L）进行有目的保持 启用成效显著 经第一方检验： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降下来0.3μg/L 系統回报率从原40%提高了至68% 膜更新时间提升至5年，年运作生产成本较低35%