该晶圆开发厂靠近苏北地方,大部分生產8厘米半导体技术晶圆,平均废水处理工艺废气量约800吨。因生產的时候中操作一大批盐酸完成晶圆蚀刻,从而导致废水处理工艺中氟化物有机废气浓度高达独角兽200-300mg/L,远超祖国废气标准单位(10mg/L下面)。
废水处理工艺材质及种类
污水最主要发源几个环节:
晶圆蚀刻工艺
:含减阻剂值氟化物(HF)、硝酸银及极富天价属
耐腐蚀机抛光处理(CMP)污水
:含微米级硅粒状、生产络合剂
环保设备洁净生活污水
:含异丙醇、氯离子等无机物
整理加工制作工艺 标准流程
分为"电化学沉垫+水泥混凝土沉垫+淬硬层过滤装置"三级分销处理系统性:
一級清理
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,生成氟化钙石雕文化沉淀,氟化物避开率达85%
特殊操作
:加上PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清除橡胶胶体部分态弄脏物
三级视频治疗
:使用多导电介质活性氧炭过滤芯和活性氧炭离心分离,溢水氟化物氨水浓度保持稳定在8mg/L下面的
关健装备是指:pH自动式调理操作系统、斜管水解池、板框压滤机厂家(飞灰出现脱水)。
决定特效
内容运转四年监测站数据报告显示信息:
氟化物一般浓硫酸浓度:7.2mg/L(降至國家条件)
COD除掉率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年收回氟化钙副物品约150吨,建立资源性化巧用